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證實!對華28nm以下大硅片出口管制已納入瓦森納協定

發布時間:2022-09-15作者來源:金航標瀏覽:2454


導讀:9月14日,立昂微在互動平臺回復投資者提問時表示,用于28納米以下制程的12英寸硅片已納入瓦森納協定。

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來源:互動平臺

投資者在互動平臺咨詢立昂微:國際前5大硅片生產商的12英寸用于28納米以下制程的硅片是不對國內出售的,請問是否屬實?立昂微公司回答表示,據了解,用于28納米以下制程的12英寸硅片已納入瓦森納協定

芯片大師認為,作為國內老牌硅片制造商,立昂微的這一回復可信度極高。側面證實了西方對華硅片材料出口限制已經從14nm擴大到28nm節點,實質上突破了2019年年底修訂的《瓦森納協定》對硅片的出口限制范圍。

如果屬實,在國內12英寸大硅片技術和產能取得實質突破之前,或許晶圓廠的28nm及以下工藝產線暫時難以獲得進口硅片。從終端客戶(實體清單)、主芯片(GPU、代工)、設備(光刻機等)、大硅片再到EDA,對國內先進芯片的上游設計和制造環節合圍已經形成

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圖:《瓦森納協定》2019年新增條款

2019年年底,《瓦森納協定》完成了一次對中國大陸半導體發展影響巨大的一次修訂。其中對于大硅片技術管制的具體內容表述為:“對300mm直徑硅晶圓的切割、研磨、拋光達到局部平整度的技術要求,在任意26mm*8mm的面積內平整度差小于等于20nm,以及邊緣去除方面小于等于2mm。”

一位硅片業內人士解讀稱,這是行業內關于硅片平整度技術要求的最精準描述換成大家都看得懂的說法就是,限制用于14nm及以下制程工藝的大硅片生產制造技術,不光硅片,所有涉及的技術、設備等都在出口管制之內。

“在40nm制程節點以下,對于硅片要求基本是差不多的,對應的技術節點主要是看光刻機下套準的精度是多少,精準度越高,平整度就要求越高,所以限制平整度[敏感詞]是專業手法

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圖:立昂微制造的硅材料

與此同時,在硅片材料外,對華出口限制了先進工藝節點最重要的兩大工具——EDA軟件和制造設備(含EUV光刻機)。但在此之前,西方公開的出口管制政策一直停留在7nm-14nm節點,12英寸硅片也是如此。


公布該消息的立昂微成立于2002年3月,創始人闕端麟院士是中國最早研究硅材料的科學家之一,曾任浙江大學副校長


2000年,闕端麟院士創辦硅片制造企業浙江金瑞泓(現為立昂微子公司),2010年承擔了02專項的“200mm硅片研發與產業化及300mm硅片關鍵技術研究”項目,目前已建成15萬片的12英寸硅片產能,圖像傳感器件和功率器件上已實現大規模出貨


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圖:上海新昇大硅片項目奠基儀式
(右六為張汝京博士)


而另一家承擔了02專項的大硅片制造企業為張汝京博士創辦的上海新昇(現為滬硅產業子公司)。


作為一開始就瞄準“12英寸硅片卡脖子”的明星企業,上海新昇不負眾望,開發出用于20-14nm先進邏輯和存儲器的300mm硅片技術,目前已建設完成30萬片月產能的生產線,累計實現銷售達到600萬片。


此外,產能上有望解決晶圓廠“燃眉之急”的12英寸硅片制造企業還有中環股份、有研半導體、中欣晶圓、奕斯偉、上海超硅等。


但12英寸晶圓已經量產使用超過20年,這些國產“后生”追趕的難度也是顯而易見的。一是部分企業投資存在不確定性,存在泡沫產能無法落地;二是產品市場上,大部分企業沒有突破到40nm以內邏輯制程正片的規模出貨;三是缺乏規模優勢難以獲得市場認可,成熟工藝市場和五大國際硅片廠(日本信越、勝高、臺灣環球晶圓、德國Siltronic和韓國SK Siltron)動輒百萬片的產能及成本難以競爭。


這次的28nm管制,能刺激國內晶圓廠和硅片廠“結盟”并在材料領域掀起“替代潮”嗎?

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